Denka TFE (Thermal Field Emitter)

电気化学工業（Denka）热场发射体（TFE）是一种高性能锆氧化物 / 钨（ZrO/W）钨基发射极，具有更低的功函数。其亮度是单晶镧六硼化物（LaB₆）阴极的 100 倍，因此非常适用于材料和器件的表面观察。除了能在较低加速电压下实现高分辨率成像外，Denka TFE 还具备极其稳定的发射电流和较长的使用寿命。该产品广泛应用于半导体检测设备、电子束光刻系统等各类电子束应用设备中。

场发射发射体产生的电子束，相比传统热离子发射体，直径更小、相干性更强，电流密度或亮度最高可提升三个数量级。在扫描电子显微镜和透射电子显微镜中使用时，相比热离子器件，能显著提高信噪比和空间分辨率，同时大幅延长发射体的使用寿命并提升可靠性。Denka 在提供可靠优质产品方面拥有悠久历史，以下是该发射体的技术图纸：

技术参数

• 工作温度：≤ 1850K，推荐 1800K。

• 工作压力：≤ 1.3×10⁻⁶Pa（1×10⁻⁸Torr）。

• 推荐工作压力：≤ 2.7×10⁻⁷Pa（2×10⁻⁹Torr）。

• 尖端半径：0.3–0.9μm，公差范围 ΔR=0.1 或 0.2μm。注：若尖端半径范围＞0.9μm，请联系bingyu.yi@xy-et.com。

• 1800K 时的灯丝电流：≤ 2.6A。

湖南萱洋伟业科技有限公司提供多种型号的 Denka TFE 发射体：

174 型的尖端尺寸为 0.6 微米（公差 ±0.1 微米），适用于高分辨率低千电子伏特（KeV）工况，以及电子束光刻（E-Beam Lithography）、能量色散谱仪（EDS）等对电流稳定性要求较高的应用场景。

适用于TESCAN、蔡司、JEOL和AMRAY SEM和TEM系统。

174C 型的尖端直径约为 0.3 微米（公差 ±0.1 微米），传统上用于透射电子显微镜（TEM）系统，或终端用户对亮度要求更高、成像性能需略优的场景。

适用于TESCAN、蔡司、JEOL和AMRAY扫描电子显微镜和透射电子管系统。

174H 型的尖端直径约为 0.3 微米（公差 ±0.1 微米），

适用于TESCAN、蔡司、JEOL和AMRAY SEM和TEM系统。

产品型号示例：174С、174、174C SE、174C TE、174 CZ、174 C/FEI、174C TSC、174C TSC2、Module C2、Module AMAT02、Module AMAT08S、174C CZ、174 H、174C SE4、174 MR05、174 MR30、174SV LR07等