Schottky Field Emission Sources FAQ 肖特基场发射源常见问题解答

2023-07-12



York Probe Sources (YPS) Ltd 是电子光学器件的专业制造商。YPS为各种机器制造和供应自己的电子发射器(肖特基场发射类型),包括 SEM、电子微探针、电子束光刻和其他电子束仪器。YPS为需要高亮度电子光学器件的客户提供定制解决方案,以满足众多平台和最终用户的要求。


YPS热场发射(FE)电镜灯丝可以用在多种聚焦电子束系统上,如SEM,TEM,Auger和CD-SEM等;其优异稳定的质量可以和FEI及Denka媲美,且互换;适用于多种电镜如 Hitachi, JEOL, ZEISS, FEI , PHI , Tescan 等。


YPS场发射(FE)电镜灯丝主要有2种型式:


1、YPS-174

YPS174是较普通的标准热场发射灯丝,与FEI和Denka有相同的品质。光圈直径400um,针尖max250um。


2、YPS-184

主要用于FEI SEM电镜,也可用于Tescan FESEMs。




Frequently asked questions about field emission sources


问:FE源是否不如热离子源可靠?

答:不 --他们可以非常可靠,连续工作数月。


问:与冷场发射器 例如W(310)或W(111))相比,肖特基场发射的优点是什么?

答:主要优点是更好的束流稳定性、不那么严格的真空要求以及不需要周期性的发射器闪烁来恢复发射电流的事实。


问:肖特基场发射源的真空度要求是什么?

答:通常在源区为10-9毫巴或更好。


问:与热离子源相比,肖特基光源的亮度水平是多少?

答:肖特基场发射器具有约108Acm-2sr-1的亮度,而热离子发射器具有约105Acm-2sr-1的亮度。


问:肖特基发射极是否需要经常更换?

答:肖特基发射极的寿命由尖端结构中Zr储层的寿命决定。这通常约为8000小时。


问:在开启肖特基源时,是否需要采取特殊步骤?

答:需要小心避免对发射器的热冲击,并避免在施加提取电压时发生击穿瞬态。此外,操作温度不应超过1850K。


问:肖特基场发射器能取代任何热离子源吗?

答:原则上是的。为了保持足够低的压力,可能需要对源进行差动泵送。


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